低溫濺射小型磁控濺射儀是一種利用磁場(chǎng)控制離子轟擊靶材表面并將材料濺射到基材上的薄膜制備技術(shù)。磁控濺射儀主要包括真空室、靶材、基材和磁控源等組成部分。在磁控濺射過(guò)程中，靶材被高能離子轟擊后會(huì)產(chǎn)生材料濺射，這些材料會(huì)沉積在基材上形成薄膜。磁控源通過(guò)施加磁場(chǎng)來(lái)控制離子運(yùn)動(dòng)軌跡和速度，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜制備過(guò)程中離子轟擊強(qiáng)度和角度的控制。

 

　　磁控濺射技術(shù)具有高膜層質(zhì)量、良好的附著力、較高的成膜速度和可選材料種類(lèi)多等優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于制備金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物等多種材料的薄膜，以及微電子、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。

 

　　低溫濺射小型磁控濺射儀制備薄膜的技術(shù)具有如下優(yōu)勢(shì)：

 

　　1.高質(zhì)量的薄膜：制備的薄膜具有高純度、致密性好、均勻性好、表面光潔度高等特點(diǎn)，能夠滿足各種應(yīng)用的要求。

 

　　2.高成膜速度：相比于其他薄膜制備技術(shù)，磁控濺射儀能夠在較短的時(shí)間內(nèi)制備出較厚的薄膜，提高了生產(chǎn)效率。

 

　　3.可選材料種類(lèi)多：磁控濺射儀可用于制備多種材料的薄膜，包括金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物等。

 

　　4.高附著力：制備的薄膜與基材之間的結(jié)合力強(qiáng)，附著力好。

 

　　5.制備過(guò)程中的控制性強(qiáng)：磁控源能夠通過(guò)施加磁場(chǎng)控制離子的運(yùn)動(dòng)軌跡和速度，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜制備過(guò)程中離子轟擊強(qiáng)度和角度的控制，使得薄膜的性能得到優(yōu)化。

 

　　因此，磁控濺射儀是一種非常重要的薄膜制備技術(shù)，已經(jīng)被廣泛地應(yīng)用于微電子、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域，并且具有很高的研究和應(yīng)用價(jià)值。